来源：GLOBE NEWSWIRE

ClassOne Technology是一家全球领先的微电子制造先进电镀和湿法处理工具供应商，该公司近期宣布佐治亚理工学院(Georgia Tech) 已为其先进封装研发项目选择了 Solstice ® S8 单晶圆处理系统。佐治亚理工学院将在硅和玻璃基板的后端处理中实施八腔 Solstice 的一系列电镀和表面处理功能，以实现 3D 异质集成。

图源：ASE

Solstice S8 系统中的每个腔室都将专用于不同的先进封装工艺，预计将于 2024 年第四季度运往佐治亚理工学院。该配置将包括两个用于柱/再分布层 (RDL) 和硅通孔 (TSV) 化学工艺的 CopperMax™ 腔室、用于锡银、金和镍钨电镀的单独腔室、一个蚀刻腔室和一个真空预湿腔室。这种满载配置将先进封装开发的所有要求集中到一个平台上。

Solstice 订单是 ClassOne 与佐治亚理工学院之间更广泛关系的核心。ClassOne 将支持在佐治亚理工学院物质与系统研究所建立 3D 异构集成中心。该中心将促进佐治亚理工学院先进封装领域的基础和转化研究、商业模式和教育工作，将半导体行业与学生和教师思想领袖联系起来。

佐治亚理工学院物质与系统研究所首席研究工程师兼副主任 Jud Ready 表示：“与 ClassOne 和 Solstice 工具合作是为了提高我们的制造能力。该领域的需求需要不断创新，这种合作和工具将为我们的团队提供创新和生产的新方法。”

ClassOne 将为跨职能的 3D 异构集成中心提供深入支持，包括派遣现场高级流程和服务工程师协助学生完成项目并对他们进行 Solstice 维护和升级方面的培训；提供技术和流程支持；每年创造三个实习机会；参与佐治亚理工学院的研究生奖学金计划；并联合进行深入研究。

ClassOne Technology 首席执行官 Byron Exarcos 表示：“佐治亚理工学院在大学层面的技术创新方面处于领先地位。我们很高兴能够让学校的教职员工和学生利用我们的设备和战略指导进行卓越的封装研发，我们期待从这一长期合作关系中产生非常有价值的成果。” Exarcos 进一步指出，这是 ClassOne 与领先大学在未来五年内计划开展的多项微电子重点合作中的第一个。

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