精准识别，智能传输，弥费科技AMHS传感控制设备解决方案

随着先进制程技术的不断演进，高效的自动物料搬运系统已成为现代半导体制造的不可或缺的一部分，而半导体制造对生产效率和精度的要求不断提升，使智能信息化成为AMHS生产过程安全、高效管理的关键。 

作为中国领先的半导体制造AMHS（自动化物料搬运系统）整体解决方案提供商，弥费科技聚焦AMHS智能制造，以符合半导体行业标准的工业识别产品为信息载体，自主研发了系列传感控制设备，为AMHS天车系统、存储设备、半导体机台设备等生产过程信息化提供一整套应用解决方案。 

此次发布的三款传感控制设备，均以非接触式自动识别技术实现对半导体传输物料的精准识别与数据读取。 

RFID Reader系统由标签、读写器和天线组成，常用于在半导体制造过程中对晶圆盒上的射频标签进行数据读写操作。机台设备可以通过读写射频标签上保存记录的ID、制造批次、制造过程说明等信息，实现晶圆生产过程的追踪和控制，提高生产效率和产品质量。弥费科技自研的RFID Reader 符合SEMI半导体标准，兼容TI公司的CID载体，读取距离最大可达到90mm。

RFID Reader在12吋晶圆传送设备Foup Stocker中的通信应用

SmartTag Reader则基于红外技术实现对标签信息的读取，并通过红外信号向操作员和自动化物料传送系统（AMHS）提供过程和状态信息。弥费科技自研的SmartTag Reader符合SEMI半导体标准，使用RS485通信接口，最大工作距离达7cm。

SmartTag Reader在8吋晶圆传送设备Pod Stocker中的通信应用

E84传感器则是基于SEMI E84协议的工作原理，采用IR技术实现生产设备与AMHS之间的高效、可靠晶圆载体自动交换。E84 Sensor不仅提高了晶圆在转移过程中的安全性和准确性，还通过增强SEMI E23中定义的并行I/O接口能力，支持了更高水平的传输可靠性和效率。

E84在天车OHT与晶圆传送设备Foup Stocker中的通信应用

识别控制系统作为AMHS传输与通讯的核心零部件设备，产品的自主可控性对与半导体行业至关重要。弥费科技基于在半导体AMHS整体解决方案领域的技术和市场优势，专注于开发能够提升AMHS生产效率与精度的产品。此次发布的AMHS识别控制系统设备不仅在关键技术指标上达到国际先进水平，完全自主的知识产权对于客户来说，意味着更加可靠和稳定的供应链保障，有助于降低运营成本和风险，保障生产的连续性和稳定性，增强市场竞争力。

对于AMHS核心零部件领域的深耕，弥费科技不仅能够更好地满足客户需求，同时进一步优化了供应链成本和质量，提升了AMHS整体解决方案的竞争力，加速其全球化布局。持续的创新和迭代能力也使弥费科技能够紧跟行业发展趋势，快速响应市场变化，弥费科技致力于成为全球半导体AMHS领域的领军企业，推动半导体制造行业向更加智能、高效的方向发展。

关于弥费科技：

弥费科技（上海）股份有限公司是中国领先的半导体AMHS系统及核心零部件供应商，公司专注于生产、研发、销售适用于半导体全产业链的自动物料搬运系统AMHS（Automated Material Handling System）。