来源：博顿光电 

《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》由工信部牵头制订，根据国家和重点产业的重大技术装备发展情况每2-3年动态调整一次，体现了政府对重大技术装备发展的引导。

根据要求，入选指导目录的技术装备产品需具备突破性技术，并已在市场上实现销售或处于研制阶段，同时拥有已授权发明专利。这一举措旨在通过政策引导，鼓励和支持企业加强自主创新，突破关键核心技术，推动装备制造业向高质量、高附加值方向发展。

近期，广东省工业和信息化厅发布《广东省首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》，其中“离子束溅射镀膜机”成功入选。

离子束溅射镀膜技术与应用 

离子束溅射镀膜技术：在真空状态下，利用离子源产生加速运动的离子束有方向性地轰击靶材，使靶材材料发生溅射，并以特定角度和能量在基底表面凝聚形成薄膜，其核心技术和关键部件为高性能离子源。离子束溅射镀膜技术相比传统的电子束蒸镀和磁控溅射等PVD镀膜，在薄膜的致密度、均匀性、稳定性等方面具有更加优异的性能表现，尤其是面向超薄、超致密、近零损耗等极端薄膜沉积要求，具有独特优势，可广泛应用于航空航天、军工、光通信、半导体、新型显示等战略产业。

离子束溅射镀膜示意图

高性能离子源及离子束溅射镀膜装备长期被美国、德国、英国少数几家国外公司垄断，在特定领域常年限售或禁运，属于典型的“卡脖子”技术产品。在中国市场，相关设备国产化率均不足10%，国产替代空间巨大，自主可控任重道远。

博顿装备--IBS离子束溅射镀膜设备 

2022年博顿光电正式发布天玑系列IBD-XPUTTER 离子束溅射镀膜机，完成了该款设备的全自主可控研发和生产制造，并面向高端科研和航天级工艺应用快速实现了市场销售。

博顿光电IBD-XPUTTER离子束溅射镀膜机采用双离子束设计，在离子束溅射成膜的基础上，结合离子束进行原位清洗及活化等辅助协同，使膜层指标达到更优水平。该设备在超低损耗极端激光薄膜、强激光高损伤阈值薄膜、超薄金属电极制备等领域表现优异，得到了多家行业顶级客户的严苛验证，实现了批量产业化，关键技术指标与国外垄断设备相当，相关技术成果和应用案例获得2023中国智能制造十大科技进展（15家国家一级学会联合体推荐，20多位院士最终评选）、全国颠覆性技术创新大赛优胜奖（科技部）、中国创新创业大赛省一等奖、科创中国“先导技术装备制造领域”百强（中国科协）、市科技进步一等奖等重磅奖项。

离子源及离子束装备是典型的“卡脖子”技术与产品，博顿光电坚持正向研发，通过源头核心技术和关键工艺的全自主可控，实现了高性能离子源及离子束装备的全国产化，在精密光学、光通信、航天军工、半导体、光伏新能源、高端科研等战略领域开拓并积累了超过200家客户，具有广泛的行业和市场认可度。

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