德国PVA TePla集团（德国普发拓普）是全球领先的材料和测量测试技术领域高科技解决方案供应商。作为系统供应商，PVA TePla为材料加工、精炼生产、复杂工艺提供可靠保障，为半导体材料、晶体、光学元件和其他高科技材料的生产提供系统设备和解决方案。在测量测试领域，PVA TePla也针对广泛应用提供高精度测量和分析设备，包括从表面检测到3D检测，从而有助于质量控制，过程监控和缺陷分析。

2024年3月20-22日，一年一度的半导体行业盛会SEMICON China在上海如期举办。作为全球高科技材料设备行业的引领者，德国PVA TePla集团携其首款国产碳化硅晶体生长设备与多款全类型长晶工艺设备亮相展会，向业界展示其将德国的设计经验和理念与中国本土化生产配套能力优势联合的解决方案，共同探讨碳化硅市场前景与未来发展。 

根植于半导体产业链关键环节

PVA TePla集团半导体业务中国区负责人兼普发半导体设备（西安）有限公司总经理谢秀红女士介绍：德国PVA TePla集团成立于1991年，在全球8个国家有750名员工，2023年销售额达2.63亿欧元，是非常典型的德国中型高科技企业，也是法兰克福主板上市公司。PVA TePla为各种高新材料生产制造提供高端设备，我们服务的市场遍布航空航天、电力能源，以及绿色能源、环保经济等行业，我们的设备在半导体材料行业有非常大的影响力，半导体业务占公司总营收约70%。

PVA TePla集团是由普发真空和巴尔采斯真空的真空设备制造部独立而成为PVA真空设备制造公司。在过去30多年的发展过程中，我们通过不停地收购跟材料相关的成熟企业和先进技术才有了如今的核心竞争力和市场规模。我们在整体半导体产业链里面，比如原材料部分一代半导体、二代半导体、三代半导体我们都会提供设备。在整个前后端计量检验也有收购的公司，提供超扫设备和杂质检测设备，还有一些等离子表面处理设备，所以在半导体行业各个环节我们都会提供相应的先进设备。

PVA TePla关注于晶体制造系统，在晶体生长领域有超过60年的经验，在晶体制造系统方面有非常强的优势。我们已经掌握了所有工业领域应用的各种晶体生长技术，无论是区熔法、直拉法、垂直梯度法，还有化学气相沉积法，还有PVT（物理气相传输工艺）法，这些核心技术我们都是有的，并且它是有来源的。基于这些经验，我们的所有设备在追求非常极致的质量和安全标准，并且对系统的自动化、标准化都是有独到的理解和自己的技术诀窍。 

专为中国市场打造碳化硅晶体生长设备

在本次SEMICON展会上，PVA TePla向行业展示了其最新打造的国产碳化硅晶体生长设备“SiCN”。该设备专为中国市场定制，并结合半导体行业生产特点，将德国的设计经验和理念与中国本土化生产配套能力优势联合，采用PVT法（物理气相传输工艺）生产碳化硅晶体，计划于2024年第二季度投入市场。

在中国，电动汽车和诸多新兴行业的蓬勃发展为碳化硅衬底材料带来广阔机遇。碳化硅半导体材料的生产技术日渐成熟稳定，并已形成相当的工业规模。作为最早将碳化硅晶体设备引入中国市场的企业之一，PVA TePla始终致力于融合中德前沿技术优势。“SiCN”融汇了中国的本土化采购、生产配套能力和德国的技术积累和传承，通过设备更好的可靠性和一致性运行，有效提高良品率，在降低制造成本的同时达到更优效益，帮助下游客户有效提高最终产品的附加值和核心竞争力。

PVA TePla碳化硅晶体生长设备

 定制化：特定的晶体生长工艺通常是企业的高度机密，定制化晶体生长平台对于验证和优化其工艺至关重要。PVA TePla可为客户提供专业定制化解决方案，以满足行业独特的工艺和知识产权需求，从而实现无缝扩展以进行大规模生产。

 灵活性：“SiCN”的设计可采用和更换成熟供应商的标准组件以及定制组件，保证设备可以使用最新的研发成果，实现持续的技术进步。

 可靠生产：“SiCN”系统设计紧凑，自动化程度高，可最大化节约整体运营空间，同时方便维护，可实现可靠的大规模生产。客户还可整合如加料小车、多种真空泵选项和测量设备等其他部件，进一步提升系统功能。

 高生产效能：晶体生长过程需要具备在超过2000°C的高温条件下长时间运行，因此优异的能源效率可以实现更佳的成本效益。“SiCN”采用经验证的低能耗感应线圈设计，实现高效率的感应加热，有效降低能耗，优化生产成本。

谢总表示：PVA TePla已在全球范围内销售SiC晶体生长系统，并与全球领先的主流碳化硅衬底材料供应商共同研发并为其提供长晶设备，设备稳定性和产品质量一致性，在大尺寸碳化硅材料的研发过程中起到了关键作用。

回顾一下PVA TePla生产碳化硅设备的历史，我们在2007年就跟客户一起研制了HTCVD化学气相沉积法，之后在2012年当我们意识未来第三代半导体的热点将要来到的时候，我们把HTCVD简化成PVT，它保留了碳化硅生长晶体的一些技术属性和工艺经验，但是整体设备变得更加的轻巧简洁，主要是有成本优势，适合工业化生产。今天我们已经向市场提供了8寸的PVT法设备。客户用我们的PVT法设备生产了全球领先的，并且是批量的8寸碳化硅衬底材料。

我们的PVT设备，2012年已经在欧洲进行了批量安装。这个新的“SiCN”设备是我们适合中国市场，根据中国市场专门定制的碳化硅设备。 

随着中国电动汽车行业以及各种基建、5G通信、高铁的蓬勃发展，在高电流、高电压领域的需求不断增大，为了配合中国市场的需求增加，更好地服务中国客户，我们决定在中国采用一些中国元素和德国设计来本土化生产PVT设备，并且保证在中国本土生产的每一台碳化硅设备具有德国的高品质。我们将这个本土设备叫做SiCN，CN也是代表中国。

我们的“SiCN”设备整体保留了德国原汁原味的设计，具有高度全自动化及定制化。德国很喜欢模组化设计，一台设备可以兼容多种尺寸。可以长6寸、长8寸，可以更换关键部件，灵活性高，满足不同客户的需求。

“作为PVA TePla在华打造的首款国产碳化硅晶体生长设备，‘SiCN’旨在帮助我们更好地满足本土化需求，为中国市场提供成熟稳定的工艺设备，进一步帮助合作伙伴提升市场竞争力。”谢总说。 

深耕中国市场 建立本土化供应链

从PVA TePla集团进入中国以来，已经深耕中国市场20多年，中国市场一直是集团非常重要的单一市场，最近几年中国市场销售额为集团整体营收做出了重要贡献。

PVA TePla在大中华区，包括北京、西安和台湾都有分支机构，北京主要是负责工业系统中国业务的售前和售后，西安主要是负责半导体板块的中国业务。

目前，PVA TePla已在中国建立生产基地、演示中心及供应链中心，旨在将高端设备国产化，以更好地助力中国半导体产业提升和发展，特别是碳化硅晶体和大尺寸单晶硅片的生产。

作为实现PVA TePla集团中国布局的战略平台，西安普发半导体将为集团公司实现设备零部件的国内采购、加工制造、安装调试提供本地支持。同时，为了贴合本土市场需求，PVA TePla也在进一步完善本地团队技术服务，加强与下游合作伙伴的研发合作，并且提供更加专业化、定制化的本地支持，帮助合作伙伴更加便捷、快速的实现大规模生产能力。

谢总表示：“中国已成为全球第三代半导体产业链中碳化硅衬底制造的重要基地。PVA TePla在晶体生长设备设计和制造领域积累了丰富的经验，未来将持续致力于加强本土化供应链建设，完善本土团队的技术服务能力，助力中国半导体产业高质量发展。”

（半导体芯科技报道）