第十届晶芯研讨会“MEMS的创新发展与应用”成功举办，回顾热点内容！
2022/3/14 17:28:09
原创：半导体芯科技SiSC
据统计，近几年全球MEMS市场以10%的年复合增长率成长，预计到2025年全球传感器市场有望接近万亿元级别。我国的传感器产业年均复合增长率达30%，远高于全球平均水平。随着5G通信的逐步实施，各种智能终端、无人驾驶汽车、可穿戴设备等技术迅猛发展，AIoT的应用场景越来越多，传感触角伸入各个领域。大数据和云计算等业务需要各种传感器实时采集各种数据来支撑，MEMS作为智能设备的关键部件及IoT采集信息的终端工具，是发展智能制造的基础和核心。MEMS技术决定了整个智能及物联网行业的水平高低，MEMS的设计、研发与制造的创新成为业内非常关注的领域。
MEMS（微机电系统）是一种先进的制造技术平台，它以半导体制造技术为基础，采用了光刻、腐蚀、薄膜等系列工艺和材料，采用精密加工技术制造的小型化机械电子器件。MEMS生产涉及到微电子、材料、力学、化学、机械学等多学科领域，以及在微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学分支。我国的MEMS产业已经形成从研发、设计、生产到应用的完整产业体系，但总体与国际先进水平尚有差距，高端智能传感器近80%依赖进口。我们产业基础大而不强，缺乏关键核心技术支撑，这是我国制约发展高端传感器的原因。MEMS是设计、材料、工艺等多种技术的结合，需要多学科复合型人才，包括中国在内的各个国家都在潜心研究，推动技术进步。
目前微型化、智能化、低功耗MEMS传感器已是主流，这对MEMS制造工艺、晶圆级封装、软件算法等的软硬件集成能力要求更高。为此，雅时国际商讯主办、大会媒体《半导体芯科技》杂志社协办、CHIP China晶芯在线研讨会承办了这场主题为“MEMS的创新发展与应用”的精彩会议。
▲第十届晶芯在线研讨会-现场截图
讲师精彩回顾
此次第十届晶芯研讨会上，我们邀请到了美国AMS公司中国区负责人 刘丹、西南科技大学 研究员、博导&微系统中心主任 高杨、奥趋光电技术（杭州）有限公司 创始人&CEO 吴亮、华东光电集成器件研究所 研究员 展明浩，分别从MEMS衬底材料、AlN压电薄膜工艺及设备、高性能SAW谐振器研发、MEMS惯性器件研发及趋势等方面，与大家进行了分享。
会议开始，首先由ACT雅时商讯总裁、《半导体芯科技》出版总监麦协林先生带来致辞，在线听众朋友们鲜花掌声不断。致辞结束后，进入到精彩绝伦的专家报告环节。在这2个小时的直播时间里，共有1227名观众报名参加、731人上线参与、500+人参与互动讨论、2456次点赞，在线观众受益匪浅。
▲第十届晶芯在线研讨会-现场截图
华东光电集成器件研究所 研究员 展明浩
▲第十届晶芯在线研讨会-现场截图
第一位演讲嘉宾，华东光电集成器件研究所 研究员 展明浩，为我们分享了《MEMS惯性传感器发展现状、趋势及应用》主题报告。
随着微电子技术和精密加工技术的进步，最初的结构性传感器逐步发展成现在的MEMS传感器。在MEMS惯性传感器的研发和制造方面，华东光电集成器件研究所积累大量经验。展明浩研究员对MEMS加速度计、陀螺仪等惯性器件的工作原理，工作方式和各自的发展历程、应用领域进行了详细介绍。针对同一类别惯性器件进行了MEMS产品和非MEMS产品的对比，以及它们在不同应用场景下的优势。在消费类应用领域，惯性器件呈现出高度集成化的趋势——多轴集成、小型化、低功耗等。在高精度惯性器件方面，主要还是国外掌握更多核心技术，比如BOEING公司嵌套环MEMS陀螺，精度达到0.01°C/h；Draper实验室发布谐振式加速计，精度达到0.5ug。
最后，展老师介绍了华东光电集成器件研究所，在惯性器件的方面科研实力、制造能力及相关产品。
西南科技大学 研究员、博导&微系统中心主任 高杨
▲第十届晶芯在线研讨会-现场截图
第二位演讲嘉宾，来自西南科技大学 研究员、博导&微系统中心主任 高杨，给大家分享了《高性能SAW谐振器研究进展分析 》主题报告。
在我国，高端的微声射频滤波器技术，是我国亟待攻克的核心技术。微型声学滤波器是当前RF信号通路的主流器件，主要包括声表面波(SAW)滤波器和体声波(BAW)滤波器两大类。中国是世界最大的手机生产国，但在微声射频滤波器领域距离实现技术自主可控尚有较大发展空间。高性能SAW谐振器是SAW射频滤波器的核心元件，谐振器的性能直接决定了滤波器的性能。高性能SAW谐振器也是各种新型SAW传感器的基本元件，它同样决定了这些传感器的性能。高性能SAW谐振器的研发，需要选择导波层压电材料及与之匹配的衬底。
高杨老师在本次演讲中，讲述了AlN基新型导波层压电材料体系、异质声学层(Hetero Acoustic Layer)结构衬底这两个方面，并介绍高性能SAW谐振器的进展，并分析其发展逻辑。
奥趋光电技术（杭州）有限公司创始人&CEO - 吴亮
▲第十届晶芯在线研讨会-现场截图
第三位演讲嘉宾，奥趋光电技术（杭州）有限公司 创始人&CEO 吴亮，给大家分享主题是《AlN/AlScN材料制备技术及其MEMS应用前景展望》主题报告。
传统压电材料在MEMS高温传感器领域存在高温稳定性差，而在5G射频前端滤波领域存在高频、大带宽与低温漂等方面的瓶颈，开发基于AlN/AlScN的高质量薄膜材料可克服上述痛点。AlN/AlScN具有超禁带宽度、高热导率、高击穿场强、高热稳定性及声表面和体波传播速率高等优异性能，它是MEMS、紫外光电传感器件、高功率/高频/高温电子器件理想衬底材料，同时也是5G射频前端SAW/BAW/FBAR器件核心材料。制备AlN/AlScN基高性能射频滤波器件，高质量AlN/AlScN薄膜是基础。
吴亮博士在本次演讲中，分析对比了制备AlN/AlScN薄膜材料的相关工艺、优缺点及其当前进展，并介绍了奥趋光电采用一系列颠覆性的工艺制备的硅基/蓝宝石基AlN/AlScN薄膜材料最新进展，并对其在SAW/BAW/FBAR及高温MEMS领域的应用前景进行了展望。
Advanced Modular Systems,Inc. 中国区负责人 刘丹
▲第十届晶芯在线研讨会-现场截图
第四位演讲嘉宾，Advanced Modular Systems,Inc. 中国区负责人 刘丹，给大家分享主题是《AMS Magnetron Deposition and Ion Mill Trimming for Mass-production for BAW Devices and MEMS》主题报告。
随着 5G 通讯技术的发展，其核心器件之一的射频滤波器，对高性能、小体积、大容量的要求不断提升，我们不仅要创新设计理念，在制造方面，ASM提供的AlN压电薄膜镀膜设备可以实现从原理到制造的这一过程。AMS 作为全球第一家用于 FBAR 量产的 AlN 压电薄膜镀膜设备供应商，见证了全球 BAW/SAW 行业的发展，目前也是全球唯一一家同时拥有薄膜沉积（Film Deposition)和修膜/调频(Trimming)两大技术的设备供应商，可将 Deposition 和 Trimming 两种工艺技术集成在同一台设备上，两项技术相辅相成，所得工艺效果无人可及。
目前国产设备尚在进步当中，我们要借鉴国外成功的经验引进先进的设备，来加快国内射频滤波器发展的步伐。
感谢听众朋友们对本次会议的大力支持，4 月13日，春暖花开时，CHIP China晶芯研讨会诚邀您到深圳国际会展中心希尔顿酒店，“芯”聚大湾区，共同献策献力！期待与各位华南听众的线下会面！
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