2018/3/27 23:13:26
2018年SEMICON China开展前一天,沉积工艺技术的领先供应商ASM在上海举办了媒体见面会,介绍了其主要的产品线、产品优势以及一些典型应用案例。ASM中国销售开发总监徐来表示,ASM希望通过这次SEMICON China传递两个重要的信息,ASM是全球ALD工艺技术和材料的领导者,ASM不仅关注中国的先进世代工艺项目,同样还会继续服务好目前主流技术节点的Fab厂客户。
据介绍,ASM作为沉积工艺的领先供应商,技术和产品包括了PEALD工艺、CVD工艺和ALD工艺,在中国已用于生产的平台有原子层沉积、增强等离子体化学气象沉积、立式炉、外延设备。尤其在ALD工艺方面,全球20nm到5nm世代的Fab厂几乎具有100%市占率。之所以ASM在ALD工艺上具有领先优势不仅是因为他们注重设备的研发,同时他们也会进行材料的同步研究。据徐来介绍,很多设备供应商的改进都是根据客户的需求研发机器,而ASM有自己的工艺集成中心,在自行进行工艺集成过程中发现了一些应用,然后需要确定相应的材料,ASM位于芬兰的研发中心就会专注研发所需的材料,等产品成形后,就可以让产品事业部制造设备,提供给客户,再通过客户的反馈来进行修改和更新,这是ASM的独特之处也是ASM保持领先的秘诀之一。
徐来表示,近几年中国半导体行业的快速发展也是有目共睹,新晶圆厂的建造也是各地开花,这也推动了对制造设备需求的大幅增长,目前中国已经是全球第三大半导体设备消费地区。许多设备供应商也都开始布局中国市场,ASM也不例外。他说:“现在是真正的中国时间。” ASM进入中国市场已有20年历史,目前的装机容量也已将近200台,涵盖了其在中国的所有客户。针对目前各个地区不断建造的新晶圆厂,ASM都会在当地构建工程师团队,为客户提供及时的设备包括硬件和工艺的支持。
虽然中国区的增长对于设备厂商来说商机无限,但同时也面临诸多挑战。对于ASM来说,中国地广人众,工厂较为分散,需要很多的人力来支持各地的客户。对于优秀人才的招聘和培养是目前ASM面对的最大挑战。目前,ASM会把员工送至台湾地区或韩国做一些现场培训,通过支持当地的客户获得一些能力的提升,再服务于中国的客户,就可以分享相关经验于客户,加快客户的学习曲线,帮助他们避免一些别人犯过的错误。徐来表示:“通过几年得的现场工作经验积累,相信这些技术人员的能力会越来越强。” 更多信息请访问:www.asm.com。
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