2018年3月14-16日，科学服务领域的世界领导者赛默飞世尔科技参加在上海举办的SEMICON China展会，发布并展示了新一代的解决方案，帮助提高 3D NAND、逻辑、DRAM、模拟和显示器件生产的品控和良率，助力中国半导体产业的高速发展。

赛默飞半导体副总裁兼总经理Rob Krueger先生表示：赛默飞在半导体及显示器制造行业的制程控制、缺陷根本原因诊断及产品失效分析领域有着很深的根基。这次我们推出三款新产品，聚焦失效分析和过程控制的先进分析能力，提高工厂及实验室效率，帮助推动亚洲，特别是中国的半导体制造业快速创新和持续拓展。

赛默飞半导体行业副总裁及总经理Rob Krueger

Thermo Scientific™ Verios G4 XHR SEM超高分辨率扫描电镜

“Thermo Scientific™ Verios G4 XHR SEM超高分辨率扫描电镜为生产商提供了确定缺陷、找到良率损失以及工艺和产品失效根本原因所需的检测能力和灵活性。Verio G4一款扫描电镜产品，它是我们取得广泛成功及认可的双束电镜（离子束/扫描电镜）Helios家族的一员， 它能够在最宽的条件下，特别是在先进制程中使用的光束敏感性材料所需的低电压下提供最佳的性能。

Thermo Scientific™ Hyperion II 快速高效的纳米探针

纳米探针科技对单个晶体管进行电性测试，新一代Thermo Scientific™ Hyperion II Nanoprober 是唯一一款基于原子力显微镜（AFM）的纳米探针量测量仪。该仪器消除了基于 SEM 纳米探测技术的真空要求和电子束/样品相互作用。

Hyperion II的自动化操作和成像模式使其快速、易于使用，而其精确定位电性缺陷的能力极大地提高了后续双束束或透射电子显微镜分析的速度和效率。

Thermo Scientific™  TQs ICP-MS 提供快速可靠的化学监控

Thermo Scientific™  iCAP TQs感应耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）是成熟的iCAP TQ ICP-MS的半导体版本。它提供了超高纯度化学品的快速、可靠和可再生的测量方法，以支持对先进的半导体制造过程进行自动化的在线监测和统计过程控制。Thermo Scientific™ iCAP TQs ICP-MS 为所有相关化学品提供了较低的检测限，并以较少的操作和更快的速度获得测量结果。这一新系统可以将化学分析从实验室转移至工厂。还可以在线控制化学浴，从而缩短响应时间并减少污染导致的损失。

赛默飞半导体副总裁兼总经理Rob Krueger介绍：赛默飞是一家非常大的公司，年销售额超过200亿美元，产品广泛应用于科研、医疗、生化等众多领域，拥有Thermo Scientific、Applied Biosystems、Invitrogen、Fisher Scientific和Unity Lab Services等很多品牌。赛默飞在2016年9月收购了FEI公司，FEI是半导体失效分析领域的领导者，市场占有率非常高，拥有一些独有的产品。通过收购FEI，赛默飞扩大了半导体产品线，加速在该市场的发展。

Rob Krueger说：随着3D NAND产品的快速增长和制造商向高堆栈方向的发展，技术复杂性和资金投入也相应增长，制程控制的需求变得更加严格。从2D到3D，比如FinFET，也使得逻辑芯片制程控制变得空前严峻。我们给客户提供物性和电性失效分析的完整解决方案，尤其是到更先进的半导体制程之后，客户越来越需要我们的先进分析机台。

针对中国半导体产业的快速发展，我们也投资了很多，我们刚刚建立独立的半导体部门，并且在张江建立了一个半导体实验室，可以为客户的样品做失效分析。

我们充分认识到亚洲特别是中国制造能力的创新及持续扩大生产的快速脚步，也一直致力于践行“扎根中国，服务中国”的承诺，我们非常荣幸能够借此次展会为中国半导体和平板显示器客户带来了几款新产品，帮助客户提高产品良率。