2021/6/1 15:43:46
数据来源:金十数据,其他自媒体
据悉,揖斐电株式会社(IBIDEN)在内的超过20家日本企业将加入一个大计划:通过与台积电展开合作,维持日本在全球半导体领域中的份额。
据日本财务省披露的数据,4月份日本对华出口半导体器件23.87亿个,同比增加16%;对华出口半导体制造设备8606个,更是同比大增67.2%,出口总额高达1403亿日元(约合人民币83亿元)。
2020年我国进口了价值3800亿美元(约合人民币2.4万亿元)的芯片。
2021年5月,日本光刻胶供应商“信越化学”停止对大陆半导体厂商提供KrF光刻胶。日芯半导体对此做出解释:“之所以向大陆半导体停供KrF光刻胶,是因为KrF光刻胶的产能有限”。为了均衡全球半导体芯片的发展,日本决定限制对大陆一线晶圆厂KrF光刻胶的供给。(SiSC:很扎心但又是事实,又一个不由自主的供应链)
业内人士称,信越化学之所以停止供货部分晶圆厂KrF光刻胶,与今年2月日本福岛发生地震有关。地震导致信越化学KrF光刻胶产线受到很大程度破坏,至今尚未完全恢复生产。此外,在地震前,KrF光刻胶的产能供应就较为紧张。“全球晶圆代工产能一直扩充,光刻胶市场虽然也在保持稳定增长,但实际产能开出并未与晶圆厂形成匹配。”产能不足叠加天灾,海外光刻胶告急,在当前中国晶圆制造厂大力扩充产能的背景下,更是牵动业界神经。
光刻胶大事小情
日本厂商如日本合成橡胶、东京应化、信越化学等在g线/i线光刻胶、KrF光刻胶、ArF光刻胶市场中市占率分别为61%、80%、93%。而中国适用于6英寸硅片的g线和i线光刻胶自给率约为20%,适用于8英寸硅片的KrF光刻胶自给率不足5%,适用于12英寸硅片的ArF光刻胶目前仍然是完全要靠进口。
据悉,本次产能大缺货的是,KrF光刻胶(248nm)适用于250nm~130nm工艺,ArF光刻胶(193nm干法)适用于130nm~65nm工艺,ArF光刻胶(193nm沉浸法)适用于65nm~7nm工艺,也正是目前中国国内众多晶圆厂所使用的工艺。
作为光刻工艺过程中的关键原材料,半导体光刻胶质量和性能对光刻工艺有着重要影响,因其技术壁垒高而长期被海外大厂所主导,成为半导体国产化一道大坎。据日本厂商如日本合成橡胶、东京应化、信越化学等在g线/i线光刻胶、KrF光刻胶、ArF光刻胶市场中市占率分别为61%、80%、93%。而中国适用于6英寸硅片的g线和i线光刻胶自给率约为20%,适用于8英寸硅片的KrF光刻胶自给率不足5%,适用于12英寸硅片的ArF光刻胶目前仍然是完全要靠进口。
据悉,本次产能大缺货的是,KrF光刻胶(248nm)适用于250nm~130nm工艺,ArF光刻胶(193nm干法)适用于130nm~65nm工艺,ArFi光刻胶(193nm沉浸法)适用于65nm~7nm工艺,中国晶圆厂所需。
国内光刻胶厂商现状
(新闻链接:南大光电:已建成2条ArF光刻胶生产线)
国内光刻胶领域已有代表企业集中力量攻克高端光刻胶产业化。以晶瑞股份为例,1月19日,晶瑞发布公告称已从ASML购入ArF浸入式光刻机一台,将主要用于研发国产高端光刻胶。据悉,此次购入的光刻机可研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶,并作为晶瑞未来三年研发重点。至于KrF光刻胶?目前已完成中试,正在加快推进相关产品下游客户验证,未来几年有望实现量产导入。
国内还有另一家半导体光刻胶上市公司是南大光电。在去年12月,南大光电完成国内首条ArF光刻胶产线投产。在今年5月业绩说明会上,南大光电表示,其ArF光刻胶产品开发和产业化项目已完成25吨光刻胶生产线建设,主要先进光刻设备,其中就如ASML浸没式光刻机,均已完成安装并投入使用。且不存在被卡风险。
此外,南大光电还于5月23日公告拟募资不超过6.13亿元,其中的1.5亿元计划用于光刻胶项目。预计项目达产后,将新增年产ArF光刻胶25吨、显影液350吨、光刻胶配套高纯试剂(对外销售)20吨及三氟化氮年产2000吨产能。
彤程新材作为目前国内唯一家能够供应KrF光刻胶的厂商,已从去年开始就已大量导入国内多家晶圆厂。行业人士称,在信越化学发出停供通知后,国内多家晶圆厂正在加速验证彤程新材旗下子公司北京科华KrF光刻胶。目前,北京科华KrF光刻胶正在快速起量导入客户,随着公司明年KrF光刻胶产能逐渐释放出来,将会加速覆盖国内多家晶圆厂8、英寸、12英寸产线。
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