——新的Atlas^® V, IMPULSE^® V和革命性的Aspect光学系统都是由新的AI-Diffract™软件提供动力，这样可以为先进的3D NAND, DRAM和领先的芯片代工厂或者逻辑芯片的制程研发和控制提供帮助

2020年6月8日，Onto Innovation Inc.宣布提供一套用于先进半导体器件制造的制程控制解决方案。这套光学量测解决方案组合是为下一代半导体器件开发的，旨在为Gen6、3D NAND，领先的5nm/3nm逻辑和先进的1alpha DRAM器件提供高精度，高准度和高生产率的解决方案。这个新的量测组合代表了Onto Innovation强大的研发团队创建的综合解决方案的第一个令人兴奋的结果，该解决方案集利用了其在光学量测领域的广泛领导地位以及针对所有这些应用的新型机器学习引擎软件的增强功能。

市场营销高级副总裁Kevin Heidric评论说：“我们对客户关于这些新系统的性能和价值的早期反应感到非常兴奋。我们从先进逻辑和存储器件获得的测量数据的分析与客户的实验室量测标准（例如CD-SEM和TEM）高度相关，这意味着他们可以继续使用高速光学量测系统而无需使用要慢得多，而且成本更高的X射线技术。”

他继续评论道：“对于最先进的3D NAND器件，要测量非常高的长宽比的通道孔和字节线（长宽比远大于80：1）面临的挑战迫使客户考虑使用速度较慢的X射线仪器和其他破坏性的测量技术。同样，对于最先进的DRAM和逻辑器件，复杂的晶体管结构和5nm和3nm节点上的新材料使客户正在寻找关键的gate-all-around/nano-sheet制程步骤的新量测方法。Onto Innovation开发了将光学技术推向更高水准的平台，从而实现了高灵敏度和高生产率的优势，并以制程研发和大规模制造所需的速率和质量为客户提供信息。”

▼3D NAND / DRAM / 逻辑量测

新的Atlas V量测系统设计用于几个关键步骤的测量，这些步骤包含了CD-SEM和其他技术无法看到的埋藏特征。 Atlas V量测的灵敏度使这些关键尺寸能够以高精度和灵敏度进行测量，从而扩展了光学解决方案对于很多代器件的支持，并且无需使用其他较慢的制程控制技术。

Atlas V技术现在可以提供给客户以开发gate-all-around器件所需的性能，并且比针对这些结构的X射线解决方案快100倍以上。Onto Innovation的客户已经验证了这种新的OCD技术，并且已经看到了曾经被认为超出了光学技术极限的速度和分辨率。

IMPULSE V系统建立在业界领先的可靠性历史上，可为下一代集成量测系统提供更高的生产率和更高的性能。该系统旨在与化学机械抛光（CMP）系统无缝协作，从而为关键工艺步骤提供高产量的run-to-run控制。 IMPULSE V系统支持配方与Atlas V系统的互操作性，以实现不间断的生产配方设置和优化。利用最新的机器学习技术，IMPULSE V技术支持on-device量测，从而实现了广泛的灵活性和高工艺覆盖率，以及在更广泛的工艺配方覆盖率下实现了更高的生产率。

▼ 3D NAND 先进量测

新的Aspect量测系统是一种革命性的光学平台，专为应对先进3D NAND器件的当前和未来挑战而设计。对于超过200对的存储器堆栈来说，内存密度随着层对扩展和层堆叠而增加。 Aspect技术的设计考虑了这些未来的体系结构和器件微小化策略。 Aspect计量学通过革命性的红外光学系统在多个客户设备上展示出优于X射线系统的性能，该革命性的红外光学系统提供了完整的剖面测量功能，能够实现关键的蚀刻和沉积控制，并具有客户所需的速度和工艺覆盖范围。

▼ AI-Diffract技术：所有产品为AI-Diffract建模技术提供动力

AI-Diffract技术是新解决方案组合的关键组件。它是为所有这些领先的量测系统提供支持的软件分析引擎。现在，该新产品使用AI-Diffract引擎可将解决方案的时间缩短90％，该引擎通过利用广泛的机器学习功能和高保真建模功能扩展了行业领先的NanoDiffract^®软件。这样的结果是计量性能的同时提高，同时缩短了解决方案的时间。

所有产品都将在本季度交付给特定客户，并在第四季度提供广泛的可用性。该公司预计收入将从第四季度开始，在2021年上半年开始增长。

关于 Onto Innovation Inc.

Onto Innovation是制程控制领域的领导者，结合了全球规模和领先技术的扩展组合，这些技术包括：无图案的晶圆质量； 3D量测技术涵盖了从纳米级晶体管到大型晶粒互连的芯片功能；晶圆和封装的宏观缺陷检查；金属互连成分；工厂分析；和用于先进半导体封装的光刻技术。我们在整个半导体价值链中提供的广泛产品可帮助我们的客户解决最困难的良率，器件性能，质量和可靠性问题。Onto Innovation致力于通过使客户变得更聪明，更快和更高效来优化客户的关键进展路径。总部位于马萨诸塞州威尔明顿的Onto Innovation通过遍布全球的销售和服务机构为客户提供支持。