Picarro适用于Fab的气体分子污染监测系统 (AMC)
2020/3/26 9:00:34
Picarro宣布推出经我们完全优化的AMC监控系统——Picarro SAM（取样Sample、分析Analyze和监测Monitor）。该系统由Picarro在业界领先的基于CRDS*的传感器组成，该传感器已集成到最新的采样系统中。SAM单元可提供高通量采样，而不会影响传感器的性能。
新的Picarro SAM系统是从组件产品到系统解决方案的重大转变。一站式的设计、制造和测试系统的好处包括：
- 针对Picarro硬件和软件设计且完全集成的系统——无集成兼容性问题
- Picarro SAM系统进行过精心优化——系统性能符合Picarro Semi系统规格
新发明的、正在申请专利的气体输送歧管促成了SAM的显着性能优势，使其在很短的时间内达到万亿分之几（ppt）的检测灵敏度，并能快速将SAM系统恢复到基线灵敏度水平。这使得SAM成为在线实时AMC监视系统的理想选择。该系统带有易于使用的图形用户界面，可进行各种图表和趋势分析。
SAM可以配置为从8个或16个端口采样，并且目前可用于检测氨、氟化氢和盐酸，这三个关键AMC会影响半导体晶圆的产量。展望未来，我们将根据Picarro的半导体产品路线图为其它气体提供SAM系统。
SAM系统路线图还将支持复杂的AMC分析，以帮助客户更准确地快速识别AMC事件的位置，从而允许采取更快的纠正措施，以提高与AMC相关的晶圆产量。
*光腔衰荡光谱（CRDS）
痕量气体分析应用包括环境监测、排放物监测、绿色汽车发动机开发、半导体工厂、洁净室技术和生物制药工艺监测。所有这些应用都能通过可立即使用的
Picarro 气体浓度分析仪来实现，该分析仪可提供实时的分析速度、高精度和 ppb
以上的灵敏度。而且，从实用的角度来看，理想的痕量气体分析仪只需要很少甚至不需要样品制备或稀释，坚固、紧凑，运行成本低。具体而言，后者意味着不需要训练有素的技术人员，并且在理想的情况下可实现远程无人操作。
CRDS 是第一种能够满足所有这些需求的痕量气体浓度仪器分析方法，它甚至可以为环境和生物医学应用提供同位素比率结果。同样重要的是，相同的 Picarro CRDS 分析仪可用作无人远程监测器、工业过程传感器和参比实验室仪器，极大地简化了标准方法和实验方案的转移。这些仪器的漂移非常低，意味着它们可以在大多数应用中运行数月而无需重新校准。
光腔衰荡光谱（CRDS）技术优势：
- 超高灵敏度、精确度和准确度，无漂移
- 快速、连续、实时测量，无需人工值守
- 动态量程大，高度线性
- 野外现场或实验室内应用，无需耗材
- 安装快捷，方便简单-整个系统的配置仅需要几分钟的时间
- 坚固耐用，对环境温度、压强或振动的变化不敏感
关于Picarro：
Picarro为实时AMC监测提供行业领先的解决方案。与现有的AMC测量技术（例如离子迁移谱（IMS）和离子色谱法）相比，其光腔衰荡光谱技术（CRDS）具有明显的优势。 Picarro的SI2000系列分析仪可在数秒而不是数小时内对快速洁净室中的污染物进行响应。 Picarro分析仪具有万亿分之一（ppt）含量水平的实时连续分析功能，可为无尘室、FOUP和晶圆厂设备中的AMC监控提供污染事件的预警。
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