根据光刻机制造商ASML年报，从2012年开始交付EUV光刻机开始，公司已经累计向客户交付了超过76台这种光刻机。2020年8月举办的全球技术论坛期间，台积电曾透露，在目前全球在运行的极紫外光刻机中，台积电拥有约一半，芯片产能预计占全球的60%。

据此推算，台积电目前拥有的EUV光刻机数量在35~38台左右。

ASML是目前全球唯一能制造EUV光刻机的厂商，对于制造7nm以下制程的芯片至关重要。台积电所需要的光刻机，也就全部来自于该公司。

消息人士透露，台积电现正加大光刻工艺的研发力度，预计到2021年年底，EUV光刻机的累计采购量将达到约55台。因此ASML到20221年累计交付的EUV光刻机数量可能会达到近百台。

相较之下，有消息称三星电子截至2021年采购EUV的数量累计不到25台。三星电子是台积电在全球范围内最大竞争对手，目前正加速在5nm芯片量产上追赶台积电的脚步，3nm芯片工艺也预定于2022年实现量产。

荷兰ASML公司前不久发布的财报显示：2019年ASML出货共26台EUV光刻机，创造了历史记录。ASML没有公布具体的客户名单，但是主要买家就是台积电与三星。据韩国媒体爆料称，三星日前又下了一笔大订单，斥资33.8亿美元采购20台EUV光刻机，不仅会用于7/5nm等逻辑工艺，还会用在DRAM内存芯片生产上（SISC注：2019年ASML第二季财报就透露10台订单中就有机台用于DRAM制造）。

据报道，三星在1月15日与ASML公司签订了新一轮订单，将采购20台EUV光刻机，总计花了33.8亿美元，约合234亿元人民币。

这次的EUV光刻机采购规模比去年10月份的15台折合181亿元的规模更大，显示出三星在EUV工艺上的雄心，毕竟三星从7nm开始就会直接上马EUV工艺，目前已经量产，除了三星自身的Exynos以外，高通、NVIDIA、IBM等公司都会是三星7nm EUV工艺的客户。

在7nm之后，三星还会推出6nm LPP、5nm LPE、4nm LPE等工艺，依然少不了EUV光刻机的参与，其中6nm工艺号称今年1月份已经量产出货，不过三星没有提供详细的客户信息。

这次采购的20台EUV光刻机不仅会用于逻辑工艺，还会用在DRAM内存芯片上，这有可能带来内存芯片生产的一场变革。

在进入10nm级别之后，DRAM内存也衍生出了1X、1Y、1Z至少三代工艺，大概等效于16-19nm、14-16nm、12-14nm，美光还会有更细化的1α、1β等工艺，但是在越过10nm这个坎上，内存工艺上EUV光刻机也是迟早的事。

从报道来看，三星最快在今年底就会在内存芯片生产上使用EUV光刻机，虽然不知道具体详情，但是年底的时候三大内存芯片厂商应该会开始量产新一代的DDR5内存，所以有可能在DDR5内存上首尝EUV的螃蟹味道。