国产电子气体材料新进展:正帆科技与天瑞公司达成硅烷长期供应战略合作
2019/7/26 14:10:43
7月21日,上海正帆科技股份有限公司(正帆科技)与陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司(天瑞公司)在上海正帆科技大厦签订协议,就国产电子级高纯硅烷的市场推广和长期供应达成战略合作。
正帆科技将与天瑞公司共同努力,积极向中国的泛半导体领域广大客户提供电子级高纯硅烷产品。两家公司的战略合作,将使硅烷产品的供应链得到极大提升。天瑞公司世界级的技术和品质保障,以及正帆科技快捷的物流管理和优质的售后服务,将为客户带来巨大价值。
天瑞公司是中国第一家具有从超高纯硅烷到二代流化床粒状多晶硅、以及西门子法电子级多晶硅等完整的先进技术和产品线的硅材料公司。天瑞公司引进全球最大硅烷厂商REC全套技术,采用REC标准化生产流程,产出硅烷纯度高达99.9999%,可广泛用于集成电路、平板显示与光伏电池的生产制造。天宏瑞科建有先进的硅烷实验室及多晶实验室,拥有完善的质量管理体系,通过生产过程分析检测、最终产品分析检测、SPC数据分析等质量管控措施全面保障硅烷产品品质与稳定性满足电子用户的最高级别要求。天瑞公司的顺利量产标志着中国自主拥有了先进、完整的电子级硅材料技术,对中国电子材料的长期发展具有重大和深远的意义。
正帆科技向电子客户提供的硅烷产品,可采用槽车直接供应,也可以分装后采用Y瓶或47L钢瓶供给客户。硅烷是半导体产业中最重要的薄膜沉积气体,可用于单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、异质硅及各种金属氧化物等薄膜的制备,是一种具有战略意义的电子气体材料。其产品质量的一致性和稳定性对半导体产品的性能和产品良率有极其重要的影响,而确保每个批次产品的关键指标参数均在严格的品控范围之内对气体供应商来说是最大的挑战。正帆科技凭借自主研发和创新能力、优异的生产运行团队和完善的质量管理体系,多年来为广大泛半导体领域客户提供了稳定可靠的电子级硅烷产品,并且自主研发、生产和实现了高纯砷烷、高纯磷烷和多种电子级混合气体产品提纯和充装,产品纯度达到99.9999%以上,关键杂质含量均控制在ppb(十亿分之一)水平,达到国际先进水平,为电子特气国产化做出了贡献。
来源:SEMI中国
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