来源：复旦大学微电子学院近日，复旦大学微电子学院卢红亮教授课题组首次结合热氧化工艺、原子层沉积(ALD)工艺…
2022-12-09
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MEMS
来源：上海微系统与信息技术研究所 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室研究员冯…
2022-09-06
原创： 半导体芯科技纳米技术是在原子或分子水平上操控物质的能力，以便我们在纳米尺度上进行制造。通常有两种…
2022-03-22
原创：半导体芯科技目前，MEMS集成技术相对简单，它通常涉及单个分立微传感器和微执行器、单个或多个与电子装…
2022-03-08
原创：半导体芯科技微机电系统或称MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)，是用微加工技术制造的小型化机械…
2022-03-08
来源：麦姆斯咨询殷飞 MEMS研究人员开发出经济型可变焦超表面透镜，有望用于便携式医疗诊断器械和微型相机等应…
2022-03-01
来源：《半导体芯科技-SiSC》2021年12月/2022年1月期刊MEMS硅时钟系统解决方案市场领先者SiTime公司推SiT3901…
2022-02-28
物联网在半导体中的日益普及、对智能消费电子和可穿戴设备的需求不断增加以及工业和家庭中自动化的日益普及是…
2022-02-17
来源：炜盛传感、传感器专家网MEMS传感器是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十…
2022-02-10
