SEMI中国

结合德国技术与国内制造实现本地生产与交付

Manz亚智科技宣布成功研发并销售第一台G10.5面板湿制程设备，现已出货至客方进行安装调试。此为Manz首台国产化G10.5面板湿制程设备，为G10.5面板湿制程设备创下了国产化的里程碑。Manz 亚智科技作为终端产品不断推陈出新的幕后推手，20多年以来一直为全球面板大厂提供创新的化学湿制程设备。G10.5面板湿制程设备验证了Manz的研发设计成果，凭借精良的结构强度设计、优异的传送稳定度、卓越的风刀吹干能力与安全的药液控制设计，在此次成功交付第一台G10.5设备的同时，也获得来自另一家知名面板制造商的订单，预计将在2019年第一季度出货。



第三方研究机构IHS markit指出，2018年起多家10代以上的新厂投产，带动新一代产能快速成长。自2017年至2020年，G10以上面板产能面积年复合增长率将高达59%，2020年全球G10以上的面板产能出货面积市场占有率将达26%。在10.5代厂的带动之下，平板显示产业设备支出在今年创下新高，预计将达到200亿美元。由于中国政府对于面板业的支持，为上游的设备供应商带来许多机会，各家面板厂也持续扩产升温。为适应超大一代面板的制程设备需求，Manz早在多年前就预见到这一趋势，着力于研发蓝图且加大研发强度，开发G10.5湿制程实验平台，成功克服大尺寸面板设备在结构强度、传输系统，以及基板干燥等方面的工艺问题并取得相关数据，成功跻身市场上可提供国产化G10.5面板湿制程设备的制造商，实现Manz对国内客户的承诺—＂结合德国技术与工艺质量，本地生产、本地价格及短时间交货＂。

自2016年获得上海电气注资起，Manz集团便积极转型，调整产品结构与销售模式，专注投资国产化设备与高端市场产品。集团紧抓市场脉动，战略对接“德国工业4.0”与政府力推的 “中国制造2025”，共同推动新工业革命和业态，达成双赢。

Manz G10.5面板湿制程设备的技术重点包括：

·精良的结构强度设计：G10.5的生产设备十分庞大，结构更大，必须改进结构强度设计，才能确保人员在设备槽体上盖进行保养或维修时，不会有槽体破裂与工程安全问题发生。因此，Manz在结构强度上进行了精良的设计调整及最大应力计算实验，确保设备在最大应力的分散及刚性足够而且具安全性。

·优异的传送稳定度：
·轴心采用轻量化设计：整体设备变大，输送机构也跟着放大，输送轴心过重容易产生偏摆，因此改采轻量化材料并增强强度，并采取破片防制设计，以达到优异的传送稳定度。
·抗震抗偏摆的刷轮设计：除了轻量化轴心设计外，采用激光对心校正来进行组装精度控制，使得刷轮在500rpm转速的情况下，偏摆量XYZ轴振动值仍可控制在每秒0.2~0.5mm。
·卓越的风刀吹干能力：Manz G10.5面板湿制程设备采用立式斜吹双出风口的风刀设计(Dual Ak)，并通过气场模拟测试及实验机实测在槽体内的喷流压力平稳无紊流，大大提升吹干效果，Slit Gap风量均一性<10%，最高可吹干产速为9M/min (每分钟9米)，为超大面板在高产速下提供优异的风刀吹干技术。
·安全的药液控制设计：针对具有危险性的化学药液，除了采用业界标准的防爆系统外，在槽体盖板上也采用双层盖及防漏设计。

Manz 亚智科技30多年来专精于湿制程技术，总设备销售实绩超过7,500台，品质深获业界信赖。Manz 亚智科技总经理兼显示器及印刷电路板事业部主管林峻生表示：“针对超大世代面板的制程设备需求，我们通过积极与海内外先进团队共同投入G10.5新工艺设备与平台的研发，进而提供全面化的解决方案，以满足客户的新制程需求。此次G10.5湿制程设备的出货，不仅是Manz的一个重大的里程碑，更成功建立了超大世代面板湿制程设备国产化的前沿阵地，为中国制造2025的核心奠定了坚实的基础。“