2022年1月3日，ASML位于德国柏林的工厂内发生火灾，部分设施受损，无人员伤亡。该工厂原属于光学模组公司Berliner Glas，2020年被ASML收购，负责为ASML的光刻系统制造组件，包括晶圆台和夹具、光罩卡盘和反射镜块。

近日，ASML对德国柏林工厂的情况进行了初步评估。目前DUV光刻机的相关组件已重新启动生产，供应上出现暂时中断，“我们仍在完成该生产区域的恢复计划，并确定如何在我们的输出计划和现场服务中尽量减少对我们的EUV客户的任何潜在影响。”另外，火灾影响了EUV系统中一个模块晶圆夹具的部分生产区域，正按计划恢复中，并确认如何将EUV客户的影响降到最低，包括供应计划和相关服务等。

1月7日ASML表示，其深紫外(DUV)和极紫外光刻(EUV)线都受到了影响。但是DUV系统受到的影响属于可恢复的，EUV系统仍然处于离线状态。

荷兰公司ASML（阿斯麦）是全球最大的光刻机制造商，而光刻机是制造芯片的关键设备。ASML在45nm以下工艺制程的光刻机市场占据了85%的份额，在EUV（极紫外光刻技术）光刻机领域则处于绝对垄断地位，市场占有率100%，是推进5nm/7nm制程节点的关键。