12月22日，深圳中科飞测科技股份有限公司(简称“中科飞测”)申请科创板上市已获受理。国泰君安证券为其保荐机构，拟募资10亿元。

招股书显示，中科飞测是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司，自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。