专项奖学金为MEMS器件制造工艺技术及相关领域的基础和应用研究、创新和人才培养提供支持

美国加利福尼亚州圣巴巴拉市及中国北京，2018年4月9日 — 美国最大的开放式MEMS 技术和制造服务提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司与北京大学微纳电子学研究院继续开展战略合作，并已将第三届（2017年度）MEMS专项奖学金颁发给该院的三位优秀学生，以鼓励他们在MEMS工艺技术研究与开发领域所做的贡献，并激励更多青年学人关注和投身MEMS制造工艺技术创新。官勇、贾德林和宋宇三位同学获得了该年度的专项奖学金。

作为全球领先的MEMS技术领域纯晶圆代工企业，近年来IMT已与中国半导体生态中各类伙伴开展了广泛而深入的合作。不仅为中国领先的器件设计公司代工生产了先进的MEMS产品，还与诸多研究机构开展了多项MEMS工艺研发合作，而已经连续三年为北京大学微纳电子学研究院的学生颁发的MEMS专项奖学金，目的在于支持MEMS及相关领域内的未来之才开展创新，并在更广泛的范围内进一步推动MEMS制造工艺技术顶尖人才的培养。

经过三年的运行和积累，IMT-北京大学微纳电子学研究院MEMS专项奖学金吸引了越来越多的学生参与。在对所有申请奖学金的候选人进行大量评估和答辩后，北京大学微纳电子学研究院将2017年度奖学金授予了官勇、贾德林和宋宇这三位展现出优秀研究成果的学生。这三位IMT奖学金获得者的研究方向分别为硅通孔转接板制作工艺基础研究，聚酰亚胺牺牲层工艺及其在光学读出红外/太赫兹焦平面阵列探测器中的应用，以及碳纳米管导电网络的制备工艺及其在智能能量系统中的应用。他们的研究成果在MEMS工艺技术方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及应用中具有发展潜力和前景。

MEMS技术在我们的工作和生活中早已无处不在，包括消费电子、汽车、航空航天、机械、化工、医药等在内的众多领域都已存在MEMS产品的身影。MEMS产品具备体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等诸多优点。MEMS技术的持续演进，推动了器件制造工艺、新材料及封装等方面的创新，同时激励着IMT 和北京大学微纳电子学研究院等领先的研究机构积极开展合作，共同推进相关制造技术的研究和开发，以应对物联网、智能化和生物科技等等领域内快速发展的需求。

“IMT与北京大学微纳电子学研究院的合作已有三年，很高兴看到三年来同学们在MEMS技术研究方面所取得的进步和突破，他们高质量的论文和对创新的追求令我们印象深刻，”IMT 首席执行官Craig Ensley先生表示。“双方合作的这三年，MEMS技术在不断向前发展，无论基础性技术的演进还是应用领域的拓展，都让我们对MEMS产业的前景抱有极大的信心。在中国，集成电路产业也已发展到一个新的时代，技术创新、产品开发、资本参与和国际合作等方面都已迈上一个新的台阶，IMT期待利用自己全球领先的 MEMS 器件加工技术服务为中国MEMS产业带来新的、更大的发展机会。”

“自2015年与IMT形成战略关系以来，双方在开发新的MEMS制造工艺及技术方面展开了卓有成效的合作并已经从中获益。过去的三年，MEMS专项奖学金已经授予了8位学生和1个学生团队，激励了同学们去深入探索MEMS制造工艺技术创新，并通过所开展的研究在相关领域内做出了实际贡献。”北京大学微纳电子学研究院王玮教授表示，“通过与IMT这样全球领先的MEMS制造服务公司合作，北京大学微纳电子学研究院进一步加快了对MEMS技术的研究进程，双方将共同推动MEMS新技术、新工艺的诞生，并为行业培养更多的优秀工艺研发人才。”

关于IMT（Innovative Micro Technology ）

IMT是全球领先的MEMS技术和晶圆制造服务商，拥有多样化的工艺和客户。IMT成立于2000年，专门生产微机电系统（MEMS）器件。IMT拥有占地130,000平方英尺的生产厂，其中有一间30,000平方英尺、等级为100的无尘室/晶圆厂，是世界上最大、配置最精良的MEMS晶圆厂之一。IMT提供MEMS量产，以及从设计到生产过程的制造服务。IMT服务的企业分布在各个应用领域，包括继电器、医疗诊断、给药、生物医学、微流体、显示屏、惯性导航、光学通信、印刷、夜视仪、红外发射器、电话/DSL切换、射频器件、电源管理、各类传感器及相关领域。IMT将始终与各公司密切合作，共同研发和制造基于MEMS技术的新型产品。更多信息，请访问www.imtmems.com。

关于北京大学微纳电子学研究院

北京大学微纳电子学研究院（IME/Peking University）是中国顶级的微电子/纳米电子科技研究和教育基地。其特点是拥有一套完整的教学、培训和研究体系，并配有各种先进设施。该研究院的雄厚实力反映在其水平优异、数量充足的教职员工队伍上： 30 位教授、4 位教授级高级工程师、22 位副教授、10 位高级工程师、10 位讲师和工程师。他们中有很多人是公认的微电子学专家，包括举世闻名的科学家王阳元院士和黄如院士。该院还有三个配有先进研究条件的国家级或省部级重点实验室，研究条件与世界上其他著名大学不相上下。该院每年招收本科生约 70 人，硕士生和博士生 50 余人。

北京大学微纳电子学研究院集成微纳系统 (MEMS) 中心成立于 1996 年，是微米/纳米加工技术国家级重点实验室的一部分。其包含对硅基微纳加工技术、微纳传感器与执行器和微纳系统集成技术的基础研究和应用研究。近五年来，在顶级会议和期刊（如 IEEE MEMS、Transducers、MicroTAS、Small、Lab Chip、JMEMS 和 JMM）上发表了 150 余篇高质量研究论文。该中心还致力于促进其研究成果的产业化。例如，First MEMS 有限公司通过应用该中心的MEMS技术批量生产了压力传感器，由此为中国大陆带来了创新。有关更多详细信息，请访问www.ime.pku.edu.cn。