中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）旗下全资子公司中微惠创科技（上海）有限公司（以下简称“中微惠创”）日前与德国DAS环境专家有限公司（DAS Environmental Expert GmbH，以下简称“DAS”）正式签订战略合作协议，双方将在半导体行业尾气处理设备领域展开紧密的合作，共同推动环保科技行业的发展。中微公司董事长兼总经理尹志尧博士、中微公司副总裁兼中微惠创总经理张宜东，DAS首席执行官René Reichardt、全球业务发展总监Guy Davies、首席财务官Maximilian Lilienthal、中国区销售总监吴彬、中国区财务及人事行政总监邵黎等双方代表出席了签约仪式。双方对未来行业的发展进行了深入探讨，并就项目合作达成了一致意见。

中微惠创是中微公司旗下的全资子公司，于2014年12月在上海临港注册成立，主要致力于泛半导体领域环保、新能源等领域的产品研发、生产和销售。依托公司在泛半导体设备制造领域的技术积累，中微惠创将为德国DAS公司尾气处理设备提供本地化生产服务。德国DAS公司是一家总部位于德国德累斯顿的环境技术公司，专业从事高科技生产中富有挑战性的废气治理以及工业与生活废水的处理，在本次战略合作中将主要负责产品的销售和售后服务，未来双方将在本土产品开发方面进行更深层次的合作。

签约仪式上，中微公司董事长兼总经理尹志尧博士与德国DAS公司首席执行官René Reichardt分别发表致辞。

中微公司董事长兼总经理尹志尧博士表示：“中微惠创是中微公司外延性发展战略的一部分，在开发VOC和废气处理设备等新业务拓展领域取得了积极的进展。德国DAS公司在废气、废水处理设备领域是国际领先企业，有着深厚的技术基础，我们很高兴与德国DAS公司展开合作。在高科技领域，这种与行业前沿公司的跨国合作将是互利共赢的。作为中国本土泛半导体设备制造的领先企业，中微惠创将与德国DAS公司实现优势互补、资源共享、并肩同行、发展互促，充分发挥双方在资源、技术和市场方面的优势，共同致力于为客户提供卓越的产品和服务。”

德国DAS公司首席执行官René Reichardt表示：“中微惠创作为国内领先的泛半导体设备制造商，是我们在中国首选的技术制造合作伙伴。德国DAS和中微惠创的战略合作具有重大意义，双方的资源整合和优势互补将能更好地服务于我们的客户，为加速环保科技产业的发展做出更大贡献。”

关于中微惠创科技（上海）有限公司

中微惠创科技（上海）有限公司（简称“中微惠创”）为中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）的全资子公司，于2014年12月在上海临港注册成立。中微惠创着力于泛半导体行业的环保设备、新能源等领域产品的研发、生产和销售。中微惠创面向电子工业开发设计的VOC（挥发性有机气体）处理设备已广泛用于改善面板显示行业生产线的洁净室工作环境；中微惠创生产制造的国产化Scrubber设备将应用于集成电路、面板显示、LED与太阳能行业等。

关于DAS环境专家有限公司

DAS环境专家有限公司（DAS Environmental Expert GmbH，简称“DAS”）是一家总部位于德国德累斯顿的环境技术公司，专业从事高科技生产中富有挑战性的废气治理以及工业与生活废水的处理。自1991成立以来，DAS致力于开发和制定具有个性化适应能力的环境技术解决方案。DAS的废气治理系统在世界领先的半导体、TFT、LED、光电领域、太阳能领域、纳米技术领域和MEMS公司均已得到广泛地应用。回顾过去，DAS的产品始终符合市场对于创新的驱动以及客户的最新行业发展。DAS的第二业务：废水处理解决方案，可以按照单独的客户需求进行扩展与适应。在这两个业务单位中，DAS的服务团队提供现场的专家服务，确保实现洁净的生产与优化的工作周期。DAS的团队在位于三大洲的七个办事处中开展工作，共有600余名职员。