科天公司（KLA-TENCOR）公司2018年11月在上海举办了媒体见面会。公司资深副总裁兼首席营销官Oreste Donzella为中国半导体业界介绍了科天公司对半导体市场的分析，对技术趋势的看法，以及科天公司为中国半导体制造业带来的技术方案与服务。Oreste在半导体业界有超过26年的经验，曾经在德州仪器TI和美光半导体工作，任职于科天公司达19年。

Q：请介绍科天公司对半导体行业发展趋势的看法。

A：2017年，全球半导体市场的增长出现了几个“首次”。首先，整个半导体行业的营收首次突破了四千亿美元大关；另外，前端芯片制造的新产线和新产能，带动了对新设备的需求（CAPEX），去年晶圆厂设备市场首次超过500亿美金；其中，科天主要专注的细分市场——工艺制程控制——首次超过50亿美金，占整个晶圆制造设备市场的一成。我们预测2018年的成长也会在5%以上，而且未来几年仍将继续增长势头。

Q：促进半导体行业这两年显著成长的原因与以往有什么不同吗？

A：半导体市场2017/18年开启的成长过程，其推动力不再是单一大宗产品(commodity)市场的爆发。在我26年的从业过程中，产业经历过多次周期性起伏循环，而2017年开始的产业增长，驱动力首次来自诸多综合领域，其中包括手机、物联网IoT、汽车电子及自动驾驶、5G、人工智能AI、云计算、边缘计算及数据中心等出现的成长点。这些成长领域的共性，是半导体变得越来越小、性能越来越高，产生了海量的数据。我们称之为“Tiny ICs Power Big Data”。

无论是智能手机还是其它应用，终端需要产生并处理大量数据，数据需要存储或传送到云端，数据还需要被认知、被分析（AI）。半导体技术的尺度在纳米量级，而产生的数据却达到16ZB（10^21量级，2016年估测）。现在，业界已经开始从这个角度看半导体的未来，海量数据应用将成为市场的核心推动力。完成海量数据的获得与分析应用，会全面推动各种芯片需求，从高端处理器（CPU、GPU、ASIC等），到存储（DRAM、NAND）、MEMS传感器、甚至相对低端的功率器件、分离器件。

Oreste Donzella，科天公司资深副总裁兼首席营销官（右二）

Q：请介绍一下科天公司以及科天在中国的发展和现状。

A：科天目前全球约有6700位员工，公司随着市场的发展还在继续成长中，我们估计到2019年年中，全球员工可能超过七千。科天全球机台总安装量已经超过23000台，2017年公司的总营收达到38亿美元。科天公司非常总是研发投入，可以说研发一直在科天公司的基因中，创新是科天公司发展策略的重中之重。我们近四年的研发投入达到21亿美元，超过营收的10%投入到新产品新技术的研发。

中国市场无疑是科天最主要的成长来源。公司在中国大陆的机台出货安装量，近三年都持续增长，大陆地区2017年机台订单比2016年增加了三倍，仅2018年第二季度，中国大陆的订单出货就已经占科天公司总出货的32%。科天目前服务的半导体项目，北到沈阳、南到珠海，西到成都、东到上海，有全新的半导体项目上马，也有产能扩建。业务增长对公司服务客户也提出了更大更多的挑战。

Q：对科天公司来说，服务中国大陆半导体项目在技术上面对怎样更为特殊的挑战吗？

A：中国半导体制造业技术节点上跨度非常广，这对技术服务和支持提出了更高的要求。比如，国内的存储器项目，包含不同技术节点的DRAM或3D-NAND项目，从产线投资和技术管理团队来看，既有国内最新项目，也含国际公司来中国设厂。又比如，逻辑器件方面，目前已经有最先进的工艺，比如中芯国际的产线，另外，国内还有更多是比较成熟的工艺产线，我们甚至还需要服务诸如MEMS、功率器件等的制造商。

为了最好地服务中国市场，科天在中国部署了超过300位的面向客户的技术团队，另外有超过300名员工在上海从事研发工作，同时，还有超过200名制造部门的员工在深圳和香港。除此之外，中国台湾地区的六百多位员工还能够给与全球和大陆客户相应的技术服务支持。

Q：请介绍一下制程控管技术在半导体生产中的重要性。

A：制程控管就是帮助半导体生产制造的客户，在最短的时间达到最好的良率，减少报废。要做到这一点，需要检测（inspection）技术——发现缺陷；量测（metrology）技术——测量关键尺寸；第三，在检测和量测之上做数据分析。制程控制不仅覆盖传统的芯片制造业产线，在掩模版的制造、空片制造，甚至半导体业的材料设备和下游封装测试领域，都是不可或缺的技术。

26年前当我刚刚进入半导体行业的时候，还没有所谓的自动制程控管，半导体厂通常需要工程师利用显微镜来“看缺陷“，检查图形的长宽等尺寸要求。现在的技术挑战已经完全不同，比如，在图形化过程中，要考虑产品光刻套准（on product overlay）关键线宽能否达到要求的14nm或者更低？是否均匀？这远非人工显微镜可以胜任；在芯片设计阶段甚至都需考虑制程控管，比如针对芯片设计中特别容易出问题的hotspot部位，怎样用检测、量测和数据分析方法防止缺陷的产生。

目前，生产线上各个制程都需要做到在线的检测和发现问题，每一道工艺步骤之后都需要提供检测量测的数据，并反馈到生产工艺当中，并在第一时间把缺陷找出来，把影响良率的问题解决。涉及到所有的制程，这也是科天公司与业界同行设备公司最大的不同。我们必须参与到每一个制程，为每一个工艺提供相应机台和解决方案——从沉积、刻蚀、研磨CMP、到光刻；科天的技术覆盖必须从上游的掩模版和晶圆片材料制造，延申到IC设计和下游的封装测试等每个环节；更为重要的是，科天还必须与客户从最初工艺研发阶段就开始合作，这样才能帮助客户缩短制程开发时间，尽快提升生产良率，最快速地进入量产，这也是制程控管技术的实质和精髓。